Tehnologija fokusiranega ionskega curka (FIB)

Abstract

Fokusirani ionski curek (FIB) ima premer od 5 nm do nekaj mikrometrov. Ko ga uporabljamo kot mikroskop, je njegova ločljivost nekoliko slabša, kot je ločljivost vrstičnega elek- tronskega mikroskopa, vendar ima bistveno boljši orientacijski kontrast. Z njim lahko odvzemamo ali nanašamo material na izbranih mestih z natančnostjo vsaj 100 nm. Ta značilnost omogoča, da se uporablja v najrazličnejše namene, od popravila elektronskih vezij, preko 3D-mikroskopije, do izdelave najrazličnejših 3D-objektov v nano- in mikrometrskem področju. Kombinacija fokusiranega ionskega curka in vrstičnega elektronskega mikroskopa bistveno izboljša zmogljivosti obeh.

Keywords

fokusirani ionski curek;mikroskop;odvzemanje materiala;nanašanje materiala;

Data

Language:	Slovenian
Year of publishing:	2006
Typology:	1.04 - Professional Article
Organization:	UM FS - Faculty of Mechanical Engineering
Publisher:	Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije
UDC:	531/533
COBISS:	11145750
ISSN:	0351-9716
Parent publication:	Vakuumist
Views:	1094
Downloads:	34
Average score:	0 (0 votes)
Metadata:

Other data

Secondary language:	English
Secondary title:	Technology of focussed ion beam (FIB)
Secondary abstract:	Focussed ion beam has a diameter between 5 nm and a few micrometers. Its resolution is slightly worse than that of a scanning electron microscope; however, it possesses much better orientation contrast. It allows site-specific sputtering and deposition of materials with precision of at least 100 nm. This ability allows FIB application in different fields: repairing of electronic circuits, 3D-microscopy, 3D-fabrication of objects in nano- and micro regions. The combination of a scanning electron microscopeand a FIB provides enhanced capabilities of both.
URN:	URN:NBN:SI
Type (COBISS):	Not categorized
Pages:	str. 4-9
Volume:	ǂLetn. ǂ26
Issue:	ǂšt. ǂ4
Chronology:	2006
ID:	1742187