Tehnologija fokusiranega ionskega curka (FIB)

Povzetek

Fokusirani ionski curek (FIB) ima premer od 5 nm do nekaj mikrometrov. Ko ga uporabljamo kot mikroskop, je njegova ločljivost nekoliko slabša, kot je ločljivost vrstičnega elek- tronskega mikroskopa, vendar ima bistveno boljši orientacijski kontrast. Z njim lahko odvzemamo ali nanašamo material na izbranih mestih z natančnostjo vsaj 100 nm. Ta značilnost omogoča, da se uporablja v najrazličnejše namene, od popravila elektronskih vezij, preko 3D-mikroskopije, do izdelave najrazličnejših 3D-objektov v nano- in mikrometrskem področju. Kombinacija fokusiranega ionskega curka in vrstičnega elektronskega mikroskopa bistveno izboljša zmogljivosti obeh.

Ključne besede

fokusirani ionski curek;mikroskop;odvzemanje materiala;nanašanje materiala;

Podatki

Jezik:	Slovenski jezik
Leto izida:	2006
Tipologija:	1.04 - Strokovni članek
Organizacija:	UM FS - Fakulteta za strojništvo
Založnik:	Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije
UDK:	531/533
COBISS:	11145750
ISSN:	0351-9716
Matična publikacija:	Vakuumist
Št. ogledov:	1094
Št. prenosov:	34
Ocena:	0 (0 glasov)
Metapodatki:

Ostali podatki

Sekundarni jezik:	Angleški jezik
Sekundarni naslov:	Technology of focussed ion beam (FIB)
Sekundarni povzetek:	Focussed ion beam has a diameter between 5 nm and a few micrometers. Its resolution is slightly worse than that of a scanning electron microscope; however, it possesses much better orientation contrast. It allows site-specific sputtering and deposition of materials with precision of at least 100 nm. This ability allows FIB application in different fields: repairing of electronic circuits, 3D-microscopy, 3D-fabrication of objects in nano- and micro regions. The combination of a scanning electron microscopeand a FIB provides enhanced capabilities of both.
URN:	URN:NBN:SI
Vrsta dela (COBISS):	Delo ni kategorizirano
Strani:	str. 4-9
Letnik:	ǂLetn. ǂ26
Zvezek:	ǂšt. ǂ4
Čas izdaje:	2006
ID:	1742187