Iskalni niz:
išči po
išči po
išči po
išči po
Vrsta gradiva:
Jezik:
Št. zadetkov: 1
Meritev debeline tankih plasti v SEM s signalom povratno sipanih elektronov
Henrik Kaker, Alojz Buhvald, Vlado Perovnik
Pregledni znanstveni članek
Oznake: vrstični elektronski mikroskop;povratno sipani elektroni;tanke plasti;simulacija Monte Carlo;
Osnova analize s povratno sipanimi elektroni (PSE) v vrstičnem elektronskem mikroskopu (SEM) je monotono naraščanje koeficienta povratnega sipanja z atomskim številom vzorca. Kot praktičen primer analize s PSE smo merili debelino vakuumsko napaarjenih tankih plasti Cu na podlagi iz 0,1 mm debele PET ...
Leto: 2000 Vir: dLib.si Digitalna knjižnica Slovenije
Št. zadetkov: 1
Ključne besede:
Leto izdaje:
Avtorji:
Repozitorij:
Tipologija:
Jezik: